Institut des
NanoSciences de Paris
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Nanostructures et optique

Bâti de fabrication de couches organiques

Contact : Jean-Louis Fave

Il s’agit d’un ensemble boite à gants / évaporateur destiné au dépôt de couches minces de matériaux organiques et de métaux sous atmosphère contrôlée. Le but visé est de fabriquer des dispositifs optoélectroniques (diodes électroluminescentes, transistors, cellules photovoltaïques) et électrooptiques (modulateurs). Ces composants sont le plus souvent des multicouches dont l’épaisseur totale va de 1000 Å à quelques microns.

La boite à gants est remplie d’azote, en légère surpression. Un purificateur élimine vapeur d’eau et oxygène jusqu’à un niveau de quelques ppm. La boite à gants abrite une tournette (spin-coating), adaptée au dépôt de molécules ou polymères en solution, et elle est reliée à un évaporateur par un passe-échantillon (diamètre 63 mm). Une sonde de Kelvin permet la mesure in situ des travaux de sortie. On prévoit aussi d’y installer un dispositif d’orientation des couches sous champ électrique. L’évaporateur est basé sur une sphère en acier inoxydable, munie d’une porte, d’un porte-échantillon tournant et refroidi et de systèmes de pompage et de contrôle. Différents creusets destinés à l’évaporation de molécules de petite masse et des métaux d’électrodes y seront installés.