Institut des
NanoSciences de Paris
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Equipements divers

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  • Plasma cleaner (Harrick Plasma PDC-002)
    Machine fonctionnant sous oxygène ou sous azote, permettant de nettoyer via un plasma faiblement énergétique la surface des échantillons.
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  • Micro Diamond Scriber (OEG MR100)
    Un scriber est un appareil permettant de découper de manière extrêmement localisée et précise un échantillon de silicium, de verre ou encore de céramique (épaisseur maximum ≈ 10mm). L’échantillon est maintenu fixé sur un porte-substrat adapté, équipé de réglages fins (le tout placé sous microscope) permettant de définir avec une grande précision la zone de découpe. La découpe se fait alors au moyen d’une pointe diamantée. La précision d’un tel équipement est de 10µm, soit 0,006°.
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  • Four de recuit hautes températures (Carbolite BGHA12/300A)
    Cet outil permet de chauffer des échantillons jusqu’à une température maximale de 1200°C et cela pendant plusieurs heures si nécessaire. Ce four peut fonctionner sous air ou sous ambiance d’oxygène. Il est notamment utilisé pour oxyder des wafers de silicium.
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  • 4 Hottes de chimie pour gravures humides et manipulations diverses
    Une sorbonne, deux hottes à flux laminaire, et une hotte à charbon sont à disposition. Des plaques chauffantes et un agitateur ultra-sons équipent ces plans de travail.