Institut des
NanoSciences de Paris
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Zone Caractérisation

© INSP - L. Becerra {JPEG}
  • Microscope électronique à balayage (Zeiss Supra 40)
    Ce système permet l’observation à grande d’échelle (jusqu’à l’échelle du nanomètre) d’échantillons. Détecteurs disponibles : SE2 et SE IN-LENS.
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  • Microscope optique (Olympus BX51)
    Microscope avec objectifs interchangeables (x5, x10, x20, x50 et x100). Différentes solutions offertes pour éclairer l’échantillon et possibilité de travailler sous polariseurs croisés.
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  • Profilomètre mécanique (Dektak 150 Veeco)
    Permet de mesurer avec précision des marches, des rugosités moyennes ou encore de réaliser un mappage 3D de la surface d’un échantillon. Deux stylets de mesure sont disponibles (2,5 µm et 12,5 µm de rayon de courbure de la pointe).
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  • Micro Diamond Scriber (OEG MR100)
    Un scriber est un appareil permettant de découper de manière extrêmement localisée et précise un échantillon de silicium, de verre ou encore de céramique (épaisseur maximum ≈ 10mm). L’échantillon est maintenu fixé sur un porte-substrat adapté, équipé de réglages fins (le tout placé sous microscope) permettant de définir avec une grande précision la zone de découpe. La découpe se fait alors au moyen d’une pointe diamantée. La précision d’un tel équipement est de 10µm, soit 0,006°.
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  • Hottes de chimie pour gravures humides et manipulations diverses
    Une sorbonne et deux hottes à flux laminaire sont à disposition. Des plaques chauffantes et un agitateur ultra-sons équipent ces plans de travail.